식각 파츠(Ring, Electrode, Si/SiC), 시장, 업체별 정리(티씨케이, 하나머티리얼즈, 월덱스, 케이엔제이)

목차

1. 식각 부품(Ring, Electrode 등)

2. 업체별 요약정리

3. 시장

 

(참고)식각 공정과 산업, 시장에 대해 먼저 보셔야 이해가 됩니다.

https://tkaghks1.tistory.com/171

식각의 모든 것(원리, 장비, 산업, 시장, 기업)

 

 

 

 

1. 식각 부품(Ring, Electrode, Si/SiC) 

ㅇ Electrode

- 실리콘 웨이퍼 크기보다 큰 원반 형태. 미세구멍 사이로 가스를 통과시켜 웨이퍼 표면에 해당 가스가 균일하게 분사되도록 돕는 역할

 

ㅇ Guide Ring

- Electrode와 웨이퍼와 평행하게 고정하는 역할

 

ㅇ Focus Ring

- ESC(Electrode Static Chuck)와 반도체 에칭 장비에서 웨이퍼를 붙잡아두는 역할

- 교체 주기는 12~15일

 

ㅇ Si/SiC

- Ring의 구성물질이 Si(실리콘) 또는 SiC(실리콘카바이드)

- 유전체 식각에서는 Si가 많이 쓰이고, 전도체 식각에서는 SiC가 많이 쓰임

- 하나머티리얼즈는 매출 대비 Si(93%), 티씨케이는 매출 대비 SiC(84%)

 

 

 

 

※ 참고

ㅇ 비포마켓

- 장비업체에 공급(티씨케이, 하나머티리얼즈, 원익QnC)

- 비포마켓이 장비사들의 고퀄리티를 통과해야 되기 때문에 에프터마켓 보다 20%정도 더 비쌈

 

ㅇ 에프터 마켓

- end-user에 공급(월덱스, 비씨엔씨, 케이엔제이)

- 반도체 다운사이클에서는 비포마켓보다 에프터 마켓에서 이익률이 더 잘나오는 경향이 있음

 

 

 

2. 업체별 요약정리('22년 기준) 

ㅇ티씨케이

 - 매출구성 : SiC 84%, Graphite(8%,), Susceptor(5.2%)

 - 내수(63%), 수출(37%)

 - 납품처 : Lam Research, Applied Materials

 

ㅇ 하나머티리얼즈

 - 매출구성 : Si(93%), SiC(6%)

 - 내수 (67%)

 - 납품처 : Tokyo Electron, 세메스,  Applied Materials

 - TEL에서 지분율 13.8%

 

ㅇ케이엔제이(에프터마켓)

 - 매출구성 : SiC (51%), Edge Grinder (49%) , SiC 비중이 점차 높아지고 있

 - 국내 매출 (88%)

 - 납품처 : 삼전, SKH, Micron Kioxia

 

ㅇ월덱스

 - Si(59%), 쿼츠(24%), 알루미나 외(15.7%)

 - 납품처 : 삼성전자, SKH, Intel, Micron

 - 내수(46%), 수출 (54%)

 

 

ㅇ원익QnC(비포마켓)

 - 매출구성 :  천연쿼츠(88%)

 - 납품처 : Lam Research, TEL

 

ㅇ비씨엔씨

 - 합성쿼츠(72%), 천연쿼츠(12%)

 - 납품처 : SKH, 유진테크, 세메스, 삼전, Intel

 

 

3. 시장  

- 1Q23 잠정실적 발표를 통해 메모리 생산 계획을 단기 하향 조정할 것

- 대다수 국내 소모품 업체들의 최대 고객사가 이례적으로 감산을 발표함에 따라 상반 기 소모품 업체들은 실적 부진을 피할 수 없을 것으로 판단

2023.4.23.

 

- 연초 예상보다 감산폭이 확대되며 1분기와 더불어 2분기 또한 실적 추정치 하향 조정이 필요한 상황

- 실적 감소 폭은 애프터마켓 대비 비포마켓이 클 것(고객사들이 원 가를 절감하기 위해 애프터마켓 침투율을 높이고 있음)

- 2022년 10월 미국 상무부는 첨단 공정과 관련한 반도체 생산장비의 대중국 수출 통제 조치를 발표

- 일본 또한 수출 규제에 동참할 것이라 의사 표명을 한 바, 미국 식각 장 비 업체인 램리서치와 AMAT에 뒤이어 TEL도 장비 반입이 제한

- 중국 메모리 업체인 YMTC가 2공장의 NAND 증설을 재개할 시 납품 물량 은 더욱 증가할 전망

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