식각 파츠(Ring, Electrode, Si/SiC), 시장, 업체별 정리(티씨케이, 하나머티리얼즈, 월덱스, 케이엔제이)
목차 1. 식각 부품(Ring, Electrode 등) 2. 업체별 요약정리 3. 시장 (참고)식각 공정과 산업, 시장에 대해 먼저 보셔야 이해가 됩니다. https://tkaghks1.tistory.com/171 식각의 모든 것(원리, 장비, 산업, 시장, 기업) 목차 1. 식각 정의 2 - (1) 프로세스 2 - (2) 식각 기업 3. 식각 방법 4. 식각 가스 종류 5. 시장규모 6. 기타 1. 식각 정의 식각(Etching) = 깎는다 ※ 식각에 대해 설명하기 전에 용어 정리 ㅇ 등방성 : 모든 tkaghks1.tistory.com 1. 식각 부품(Ring, Electrode, Si/SiC) ㅇ Electrode - 실리콘 웨이퍼 크기보다 큰 원반 형태. 미세구멍 사이로 가스를 통과시켜 웨이퍼 표..